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TZ-506B全自動探針測試臺
該設備為全自動設備,主要用于半導體分立器件器件GPP的電參數分析、測試。該設備配接測試儀后,能自動完成芯片的電參數測試功能。
The equipment is fully automatic,which is mainly used for the analysis and test of the electrical parameters of the discrete device and GPP chip.After it is connected with the tester,it can automatically test the electrical parameter and function of the chip.
主要技術指標 Main Specifications
可測片徑 |
4″、5″ |
Wafer Size |
4″、5″ |
最大行程 | 170mm×240mm |
Max. Travel Range |
170mm×240mm |
定位精度 |
≤±0.030mm/150mm |
X/Y Positioning Accuracy |
≤±0.030mm/150mm |
步進分辨率 | 0.001mm |
X/Y Resolution |
0.001mm |
Z向行程 | 3mm |
Chuck Z-axis Travel |
3mm |
Z向重復定位精度 | ≤±0.003mm |
Z-axis Positioning Accuracy |
≤±0.003mm |
Z向分辨率 | 0.001mm |
Z-axis Resolution |
0.001mm |
θ向自動調節范圍 | ±10° |
θ Rotation Angle |
±10° |
θ向分辨率 | 0.0013° |
θ Resolution |
0.0013° |

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