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                      TZ-803A自動探針測試臺

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                      TZ-803A自動探針測試臺

                      該設備主要用于半導體分立器件,光電器件以及集成電路晶圓上各個芯片的電參數分析、測試。該設備配接測試儀后,能自動完成芯片的電參數測試功能。
                      零售價
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                      市場價
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                      產品編號
                      數量
                      -
                      +
                      庫存:
                      0
                      所屬分類
                      探針測試
                      1
                      產品描述
                      參數

                      該設備主要用于半導體分立器件,光電器件以及集成電路晶圓上各個芯片的電參數分析、測試。該設備配接測試儀后,能自動完成芯片的電參數測試功能。

                      The equipment is mainly used for the analysis and test of the electrical parameters of discrete devices, photoelectric devices and IC. After it is connected with the tester, it can automatically test the electrical parameters and functions of the chip.

                      主要技術指標  Main Specifications

                       

                      可測片徑 5″、6″、8″

                      Wafer Size

                      5"、6"、8"

                      工作臺最大行程 240mm×300mm 

                      Max. Travel Range

                      240mm×300mm

                      定位精度 ≤±0.010mm/200mm

                      X/Y Positioning Accuracy

                      ≤±0.010mm/200mm

                      工作臺最大速度 200mm/s

                      X/Y Axis Speed

                      200mm/s

                      步進分辨率 0.001mm

                      X/Y Resolution

                      0.001mm

                      承片臺Z向行程 20mm

                      Chuck Z-axis Travel

                      20mm

                      Z向定位精度 ≤±0.003mm

                      Z-axis Positioning Accuracy

                      ≤±0.003mm

                      Z向分辨率 0.001mm 

                      Z-axis Resolution

                      0.001mm

                      θ向調節范圍 ±6°

                      θ Rotation Angle

                      ±6°

                       θ自動對準精度 ≤±0.01°

                      Alignment Accuracy

                      ≤±0.01°

                      外形尺寸 750mm×1250mm×1600mm

                      Outline Dimension

                      750mm×1250mm×1600mm

                      未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
                      三河建華高科

                      辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769

                      手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522

                      公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號

                      網址 : www.transberita.com

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