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TZ-606T特種器件探針測試臺
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產品編號
數量
-
+
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0
所屬分類
探針測試
1
產品描述
參數
該設備是高科公司精心研發的一款自動探針臺，晶圓自動對準、自動定位啟測點自動測試等功能。同時具有晶圓ID識別功能，可單芯測試也可連續測試。軟件功能豐富可為企業提供不同的測試解決方案，極大提高產能及效應。應用領域涵蓋晶圓測試、各類器件、Wafer等進行I-V、C-V、高壓器件、光電器件等特性分析測試等。
The equipment is an automatic prober developed by high-tech company. It has the functions of automatic wafer alignment, automatic positioning and automatic test of starting test points. It has the function of wafer ID identification, which can be tested by single core or continuous test. The software has rich functions and can provide enterprises with different test solutions, greatly improving production capacity and efficiency. The application fields include wafer testing, various devices, wafer, etc. to analyze and test the characteristics of I-V, C-V, high voltage devices, photoelectric devices, etc.
主要技術指標 Main Specifications
| 可測片徑 |
4"、5"、6" |
Wafer Size |
4"、5"、6" |
| 工作臺最大行程 | 180mm×240mm | Max. Travel Range | 180mm×240mm |
| 工作臺速度 | ≥200mm/s |
X/Y Axis Speed |
≥200mm/s |
| 定位精度 |
≤±0.005mm/160mm |
Positioning Accuracy |
≤±0.005mm/160mm |
| 步進分辨率 | 0.001mm |
Resolution |
0.001mm |
| 承片臺Z向行程 | 10mm |
Chuck Z-axis Travel |
10mm |
| Z向定位精度 | ≤±0.003mm |
Z-axis Positioning Accuracy |
≤±0.003mm |
| Z向分辨率 | 0.001mm |
Z-axis Resolution |
0.001mm |
| θ向調節范圍 | ±10° |
θ Rotation Angle |
±10° |
| θ向分辨率 | 0.0013° |
θ Resolution |
0.0013° |
|
晶圓裝載方式 |
手動 |
Wafer Loading Mode |
Manual |
|
外形尺寸(主機) |
700mm×800mm×800mm |
Outline Dimension |
700mm×800mm×800mm |
上一個
TZ-803A自動探針測試臺
下一個
TZ-609雙面測試探針測試臺
辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769
手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522
公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號
網址 : www.transberita.com
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