銷售熱線
Product Center
產品中心
瀏覽量:
1000
DYX-810P噴霧涂膠機
零售價
0.0
元
市場價
0.0
元
瀏覽量:
1000
產品編號
數量
-
+
庫存:
0
所屬分類
勻膠顯影
1
產品描述
參數
該產品適用于具有崎嶇表面的異形基片表面光刻膠涂覆，主要應用于MEMS、陶瓷器件等領域。
It is suitable for PR coating on the surface of special-shaped substrate with rugged surface, mainly used in MEMS, ceramic devices and other fields.
主要技術特點 Main Features
噴膠單元 Spray Unit
采用超聲或二流體噴頭進行光刻膠霧化，光刻膠采用專用精密供液泵供給，精度高，供液穩定可靠。
Ultrasonic or two fluid spray nozzle is used for PR spray. PR is supplied by special pump with high precision and stable liquid supply.
工作臺 Worktable Unit
XYZ軸工作臺采用精密電缸驅動，無污染，掃描速度及加速度精度高、穩定性好。
XYZ axis worktable is driven by precision electric cylinder, no pollution, high accuracy of scanning speed and acceleration, good stability.
主軸單元 Spindle Unit
主軸電機采用交流無刷伺服電機，保證旋轉轉速、加速度控制精度高，穩定性好；加熱機構采用接觸式烘焙，加熱控制精度高，溫度均勻性好。
The main spindle motor adopts AC servo motor to ensure high accuracy and stability of rotation speed and acceleration control; the HP adopts contact baking, with high accuracy of heating control and good temperature uniformity.
主要技術指標 Main Specifications
| 最大晶圓尺寸 | 8″ |
Maximum Wafer Size |
8″ |
| 膠腔數量 | 1個 |
Number of Cup |
1 |
| 膠腔材質 | 進口PP |
Cup Material |
PP |
| 主軸轉速 | 0～200rpm |
Spindle Speed |
0～200rpm |
| 額定 | 100rpm |
rated |
100rpm |
| 轉速精度 | ±1rpm (0～100rpm) |
Speed Accuracy |
±1rpm(0～100rpm) |
| 光刻膠粘度 | ≤100Cp |
PR Viscosity |
≤100CP |
| 噴嘴數量 | 1套 |
Nozzle Quantity |
1 set |
| 膠液流量 | 1～5ml/min |
PR flow |
1～5ml/min |
| 膠液供給精度 | ±0.1ml |
PR Supply Accuracy |
±0.1ml |
| 霧化氣體壓力 | 0.1～0.3MPa |
N2 Pressure |
0.1～0.3MPa |
| 霧化氣體流量 | 10～30L/min |
N2 flow |
10～30L/min |
| 電缸X軸最大速度 | 200mm/s |
Maximum Speed of XSpeed of X |
200mm/s |
| 電缸Y軸最大速度 |
200mm/s |
Maximum speed of Y |
200mm/s |
|
電缸精度 |
±0.1mm |
Accuracy of XY |
±0.1mm |
|
溫度范圍 |
50～150℃ |
Temperature Range |
50～150℃ |
|
溫度均勻性 |
±3℃ |
Temperature Uniformity |
±3℃ |
|
外形尺寸(長x寬x高) |
1500mm×960mm×1600mm |
Outline Dimension（LxWxH） |
1500mm×960mm×1600mm |
|
重量 |
400Kg |
Weight | 400Kg |
上一個
DYX-640S自動勻膠顯影機
下一個
DYX-430Y自動勻膠機
辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769
手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522
公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號
網址 : www.transberita.com
銷售微信
銷售微信
Copyright ? 2021 三河建華高科有限責任公司 版權所有 冀ICP備2021017682號-1 中企動力 北京
Language