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                      DYX-810P噴霧涂膠機

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                      DYX-810P噴霧涂膠機

                      該產品適用于具有崎嶇表面的異形基片表面光刻膠涂覆,主要應用于MEMS、陶瓷器件等領域。
                      零售價
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                      市場價
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                      產品編號
                      數量
                      -
                      +
                      庫存:
                      0
                      所屬分類
                      勻膠顯影
                      1
                      產品描述
                      參數

                      該產品適用于具有崎嶇表面的異形基片表面光刻膠涂覆,主要應用于MEMS、陶瓷器件等領域。

                      It is suitable for PR coating on the surface of special-shaped substrate with rugged surface, mainly used in MEMS, ceramic devices and other fields.

                      主要技術特點  Main Features

                      噴膠單元  Spray Unit

                      采用超聲或二流體噴頭進行光刻膠霧化,光刻膠采用專用精密供液泵供給,精度高,供液穩定可靠。

                      Ultrasonic or two fluid spray nozzle is used for PR spray. PR is supplied by special pump with high precision and stable liquid supply.

                      工作臺  Worktable Unit

                      XYZ軸工作臺采用精密電缸驅動,無污染,掃描速度及加速度精度高、穩定性好。

                      XYZ axis worktable is driven by precision electric cylinder, no pollution, high accuracy of scanning speed and acceleration, good stability.

                      主軸單元  Spindle Unit

                      主軸電機采用交流無刷伺服電機,保證旋轉轉速、加速度控制精度高,穩定性好;加熱機構采用接觸式烘焙,加熱控制精度高,溫度均勻性好。

                      The main spindle motor adopts AC servo motor to ensure high accuracy and stability of rotation speed and acceleration control; the HP adopts contact baking, with high accuracy of heating control and good temperature uniformity.

                      主要技術指標  Main Specifications

                      最大晶圓尺寸 8″

                      Maximum Wafer Size

                      8″

                      膠腔數量 1個

                      Number of Cup

                      1

                      膠腔材質 進口PP

                      Cup Material

                      PP

                      主軸轉速 0~200rpm

                      Spindle Speed

                      0~200rpm

                      額定 100rpm

                      rated

                      100rpm

                      轉速精度 ±1rpm (0~100rpm)

                      Speed Accuracy

                       ±1rpm(0~100rpm)

                      光刻膠粘度 ≤100Cp

                      PR Viscosity

                      ≤100CP

                      噴嘴數量 1套

                      Nozzle Quantity

                      1 set

                      膠液流量 1~5ml/min

                      PR flow

                      1~5ml/min

                      膠液供給精度 ±0.1ml

                      PR Supply Accuracy

                      ±0.1ml

                      霧化氣體壓力 0.1~0.3MPa

                      N2 Pressure

                       0.1~0.3MPa

                      霧化氣體流量 10~30L/min

                      N2 flow

                      10~30L/min

                      電缸X軸最大速度 200mm/s

                      Maximum Speed of XSpeed of X

                      200mm/s

                      電缸Y軸最大速度

                      200mm/s

                      Maximum speed of Y

                       200mm/s

                      電缸精度

                      ±0.1mm

                      Accuracy of XY

                      ±0.1mm

                      溫度范圍

                      50~150℃

                      Temperature Range

                       50~150℃

                      溫度均勻性

                      ±3℃

                      Temperature Uniformity

                      ±3℃

                      外形尺寸(長x寬x高)

                      1500mm×960mm×1600mm

                      Outline Dimension(LxWxH)

                      1500mm×960mm×1600mm

                      重量

                      400Kg

                      Weight 400Kg

                       

                      未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
                      三河建華高科

                      辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769

                      手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522

                      公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號

                      網址 : www.transberita.com

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