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DYX-430Y自動勻膠機
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產品編號
數量
-
+
庫存:
0
所屬分類
勻膠顯影
1
產品描述
參數
該設備為手動上下片，自動滴膠設備，可完成勻膠后烘焙工藝。最大適用5″標準晶圓，主要應用于分立器件、功率器件等行業。
The equipment is a manual up and down wafer, automatic PR dropping equipment, which can complete the baking process after coater. It is applicable to 5 " wafer, mainly used in discrete devices, power devices and other industries.
主要技術特點 Main Features
勻膠單元 Main Features
采用不銹鋼勻膠腔體，中空軸伺服電機，具有密閉腔蓋，保證勻膠過程中不產生膠絲。
It adopts stainless steel cup, hollow axis servo motor and sealed cup cover to ensure that no glue wire is produced in the process of coater.
熱板單元 HP Unit
升溫快、烘焙效果好，具有條形凸起，方便人工取放。
Fast temperature rise, good baking effect, with hump structure, convenient for manual access.
膠泵單元 PR Pump Unit
光刻膠采用精密膠泵供給，精度高，供液穩定可靠。
PR is supplied by precise PR pump with high precision and stable and reliable liquid supply.
主要技術指標 Main Specifications
| 最大晶圓尺寸 | 5″ |
Maximum wafer size |
5″ |
| 膠腔數量 | 3個 | Number of Coater |
3 |
| 膠腔材質 | 不銹鋼 |
Cup Material |
stainless steel |
| 主軸轉速 | 0～5000rpm |
Spindle Speed |
0～5000rpm |
| 最高 | 5000rpm |
maximum |
5000rpm |
|
轉速精度 |
±2rpm (50～5000rpm) |
Speed Accuracy |
±2rpm(50～5000rpm) |
| 光刻膠供給量(Teflon吐出泵) | 1～10ml |
PR Supply (Teflon Pump) |
1～10ml |
| 光刻膠供給精度 | ±0.1ml |
Photoresist supply accuracy |
±0.1ml |
| 光刻膠粘度 | ≤500Cp |
PR viscosity |
≤500cp |
| 熱板數量 | 1個 |
Number of HP |
1 |
| 溫度范圍 | 50～150℃ |
Temperature Range |
50～150℃ |
| 外形尺寸 | L1500mm×W1000mm×H1800mm |
Outline Dimension |
L1500mm×W1000mm×H1800mm |
| 重量 | 400Kg |
Weight |
400Kg |
上一個
DYX-810P噴霧涂膠機
下一個
無
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手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522
公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號
網址 : www.transberita.com
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