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                      DYX-430Y自動勻膠機

                      產品分類

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                      DYX-430Y自動勻膠機

                      該設備為手動上下片,自動滴膠設備,可完成勻膠后烘焙工藝。最大適用5″標準晶圓,主要應用于分立器件、功率器件等行業。
                      零售價
                      0.0
                      市場價
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                      產品編號
                      數量
                      -
                      +
                      庫存:
                      0
                      所屬分類
                      勻膠顯影
                      1
                      產品描述
                      參數

                      該設備為手動上下片,自動滴膠設備,可完成勻膠后烘焙工藝。最大適用5″標準晶圓,主要應用于分立器件、功率器件等行業。

                      The equipment is a manual up and down wafer, automatic PR dropping equipment, which can complete the baking process after coater. It is applicable to 5 " wafer, mainly used in discrete devices, power devices and other industries.

                      主要技術特點  Main Features

                      勻膠單元  Main Features

                      采用不銹鋼勻膠腔體,中空軸伺服電機,具有密閉腔蓋,保證勻膠過程中不產生膠絲。

                      It adopts stainless steel cup, hollow axis servo motor and sealed cup cover to ensure that no glue wire is produced in the process of coater.

                      熱板單元  HP Unit

                      升溫快、烘焙效果好,具有條形凸起,方便人工取放。

                      Fast temperature rise, good baking effect, with hump structure, convenient for manual access.

                      膠泵單元  PR Pump Unit

                      光刻膠采用精密膠泵供給,精度高,供液穩定可靠。

                      PR is supplied by precise PR pump with high precision and stable and reliable liquid supply.

                       

                      主要技術指標  Main Specifications

                       

                      最大晶圓尺寸 5″

                      Maximum wafer size

                      5″

                      膠腔數量 3個 Number of Coater

                      3

                      膠腔材質 不銹鋼

                      Cup Material

                      stainless steel

                      主軸轉速 0~5000rpm

                      Spindle Speed

                      0~5000rpm

                      最高 5000rpm

                      maximum

                      5000rpm

                      轉速精度

                      ±2rpm (50~5000rpm)

                      Speed Accuracy

                      ±2rpm(50~5000rpm)

                      光刻膠供給量(Teflon吐出泵) 1~10ml

                      PR Supply (Teflon Pump)

                      1~10ml

                      光刻膠供給精度 ±0.1ml

                      Photoresist supply accuracy

                      ±0.1ml

                      光刻膠粘度 ≤500Cp

                      PR viscosity

                       ≤500cp

                      熱板數量 1個

                      Number of HP

                      1
                      溫度范圍 50~150℃

                      Temperature Range

                      50~150℃

                      外形尺寸 L1500mm×W1000mm×H1800mm

                      Outline Dimension

                      L1500mm×W1000mm×H1800mm

                      重量 400Kg

                      Weight

                      400Kg

                       

                       

                      未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
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                      辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769

                      手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522

                      公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號

                      網址 : www.transberita.com

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