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勻膠顯影

DYX-420SY全自動勻膠機

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DYX-420SY全自動勻膠機

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產品描述

參數

該設備為星型全自動勻膠設備，主要應用于4″或5″晶圓涂膠、預烘工藝。采用標準片盒收放片，工藝過程單片處理，自動運行，主要適用于分立器件、功率器件等領域。

The equipment is a star type fully automatic coater. It is mainly used in 4 ″ or 5 ″ wafer coating and pre baker process. Adopt the standard cassette, single-chip processing, automatic operation. It is mainly suitable for discrete devices, power devices, etc.

主要技術特點 Main Features

傳輸機構 Transfer Unit

傳輸機構采用機械手進行晶圓的承載及傳輸，性能穩定，對晶圓背面污染小。

The transfer unit adopts robot to carry and transmit the wafer, which has stable performance and little pollution to the back of the wafer.

勻膠單元 Coater Unit

采用不銹鋼勻膠腔體，中空軸伺服電機，具有密閉腔蓋，保證勻膠過程中不產生膠絲。

It adopts stainless steel cup, hollow axis servo motor and sealed cup cover to ensure that no glue wire is produced in the process of coater.

熱板單元 HP Unit

采用硬質陽極氧化熱盤，受熱均勻，易于擦拭。

Adopt hard anodizing hot plate, heat evenly, easy to wipe.

主要技術指標 Main Specifications

晶圓尺寸	4″、5″	Wafer Size	4″, 5″
上/下片單元數量	4個（兩個上片、兩個下片）	Number of Up / Down Cassette	4 (two up and two down)
手指數量	2個	Number of fingers	2
膠腔數量	2個	Number of Coater	2
主軸轉速	0～5000rpm	Spindle Speed	0～5000rpm
最高	5000rpm	maximum	5000rpm
轉速精度	±2rpm (50～5000rpm)	Speed Accuracy	±2rpm(50～5000rpm)
光刻膠供給量(Teflon吐出泵)	1～10ml	PR Supply (Teflon Pump)	1～10ml
光刻膠供給精度	±0.1ml	PR Supply Accuracy	±0.1ml
光刻膠粘度	≤500Cp	PR viscosity	≤500cp
熱板數量	4個	Number of HP	4
溫度范圍	室溫～180℃±1℃（可設置）	Temperature Range	room temperature～180℃±1℃
最小調整量	0.1℃	Minimum Adjustment	0.1℃
溫度均勻性	±2℃@50℃～100℃、±3℃@100.1℃～180℃	Temperature Uniformity	±2℃@50℃～100℃, ±3℃@100.1℃～180℃
外形尺寸	L1400mm×W1200mm×H1800mm	Outline Dimension	L1400mm×W1200mm×H1800mm
重量	800Kg	Weight	800Kg