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DYX-430SY自動勻膠機
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產品編號
數量
-
+
庫存:
0
所屬分類
勻膠顯影
1
產品描述
參數
該設備主要用于LED、MEMS、IC等行業標準晶圓勻膠、預烘工藝。
The equipment is mainly used for wafer coater and pre baker process in LED, MEMS, IC, etc.
主要技術特點 Main Features
采用星型布局形式，結構緊湊，效率高。
Adopt star layout, compact structure and high efficiency.
上/下片工位 Up / Down Station
鋁制標準晶圓片盒，不變形、易轉片。
Aluminum standard cassette, no deformation, easy to turn.
雙臂機械手 Double Arm Robot
選用進口多關節雙臂機械手，不僅具有較高的剛度、靈活性，而且傳輸速度快，定位精度高。
The imported multi joint double arm bobot not only has high rigidity and flexibility, but also has fast transmission speed and high positioning accuracy.
勻膠單元 Coater Unit
勻膠腔采用進口PP材料制成，主軸電機采用進口定制的中空軸交流無刷伺服電機，保證旋轉轉速、加速度控制精度高，重復性、穩定性好。
The cup is made of imported PP material. The spindle motor adopts the imported customized hollow AC brushless servo motor, ensure high accuracy, repeatability and stability of rotation speed and acceleration control.
冷/熱板單元 CP/HP Unit
冷板/熱板單元是對晶圓進行預烘及冷卻處理，晶圓與盤體為非直接接觸方式，溫度穩定、精度高。
The CP/HP unit is to pre bake and cool the wafer. The wafer and the plate are not in direct contact, stable temperature and high precision.
主要技術指標 Main Specifications
| 晶圓尺寸 | 3″、4″ |
Wafer Size |
3″, 4″ |
| 機械手 | 1套 |
Robot |
1 set |
|
勻膠單元 |
3套 |
Coater Unit |
3 sets |
| 主軸轉速 | 0～6000rpm |
Spindle Speed |
0～6000rpm |
| 最小調整量 | 1rpm |
min. adjustment |
1rpm |
|
轉速精度 |
±1rpm(50～5000rpm) |
Speed Accuracy |
±1rpm(50～5000rpm) |
| 主軸加速度 | 100～20000rpm/sec |
Spindle Acceleration |
100～20000rpm/sec |
| 膠液數量 | 2路 |
RP Quantity |
2 sets |
|
背洗功能 |
可選 |
BSR |
optional |
|
去邊功能 |
可選 |
EBR |
optional |
| 光刻膠供給 | 精密膠泵 |
PR Supply |
precision PR pump |
| 光刻膠供給量 | 1～10ml |
PR Supply |
1～10ml |
| 光刻膠供給精度 | ±0.1ml |
PR Supply Accuracy |
±0.1ml |
| 光刻膠粘度 | ≤1000Cp |
PR Viscosity |
≤1000cp |
| 光刻膠過濾 | 可選 |
PR Filtration |
optional |
| 熱板數量 | 6套 |
Number of HP |
6 sets |
| 溫度范圍 | 室溫～180℃ |
Temperature Range |
room temperature ～180℃ |
| 最小調整量 | 0.1℃ |
Min. Adjustment |
0.1℃ |
| 加熱方式 | 云母加熱片加熱 |
Heating Method |
mica heating |
| 溫度均勻性 | ±1℃@50℃～120℃、±2℃@120.1℃～180℃ |
Temperature Uniformity |
±1℃@50℃～120℃,±2℃@120.1℃～180 ℃ |
| 冷板數量 | 2套 |
Number of CP |
2 sets |
| 冷卻方式 | 廠務冷卻水循環冷卻 |
Cooling Mode |
factory cooling water |
| 水溫范圍 | 18℃～30℃ |
Water Temperature Range |
18℃～30℃ |
| 外形尺寸 | L1750mm×W1600mm×H1900mm |
Outline Dimension |
L1750mm×W1600mm ×H1900mm |
| 重量 | 1600Kg |
Weight |
1600Kg |
上一個
無
下一個
DYX-420SY全自動勻膠機
辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769
手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522
公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號
網址 : www.transberita.com
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