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                      BG-501曝光機

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                      BG-501曝光機

                      主要用于中小規模集成電路和半導體元器件制造工藝中的對準及曝光。本產品操作方便、穩定性高、重復性好,并具有較高的性能價格比,可廣泛應用于科研和生產。主要技術特點對準工作臺對準精度搞,漂移小,精密楔形誤差補償機構實現三點找平,找平力小,延長掩摸版使用壽命。曝光系統采用柱體蠅眼透鏡和高能力集光的橢球反射鏡等精密光學件,具有較高的光強、均勻性、光學分辨率。分離視場顯微鏡顯微鏡像質清晰,觀察舒適??刂葡到y電氣控制采用可編程序控制器(PLC)、LCD顯示器,操作方便,汞燈電源易于觸發,可靠性高。該設備的關鍵件采用進口或專業廠家制造,氣動元件采用SMC產品,提高了設備的穩定性、可靠性,同時提供個性化服務。主要技術指標?性能名稱技術指標適用基片尺寸Max.φ5″(φ125mm)適用掩模版尺寸Max.6″(150mm×150mm)工作臺行程X向±5mmY向±5mmZ向3mmθ向±5°基片與掩模版分離間隙0~0.05mm對準精度±1μm顯微鏡物鏡放大率0.75×~5×總放大倍數40×~300×物鏡分離距離50~120mm掃描范圍50mm×50mm調焦范圍8mm曝光光源365nm,500W進口汞燈曝光面積φ160mm曝光分辨率1.5um(正膠、真空接觸)光強≥20mW/cm2曝光不均勻性±5%曝光時間0~999s外型尺寸1300mm×1100mm×1650mm重量300Kg
                      零售價
                      0.0
                      市場價
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                      產品編號
                      數量
                      -
                      +
                      庫存:
                      0
                      所屬分類
                      曝光設備
                      1
                      產品描述
                      參數

                      主要用于中小規模集成電路和半導體元器件制造工藝中的對準及曝光。本產品操作方便、穩定性高、重復性好,并具有較高的性能價格比,可廣泛應用于科研和生產。

                      The machine is mainly used for alignment and exposure in process of small and middle scale IC. It is easy to operate, high stability, good repeatability, can be widely used in scientific research and production.

                       

                      主要技術指標  Main Specifications

                       

                      性能名稱 技術指標 Performance name Technical index
                      適用基片尺寸 Max. φ5″(φ125mm) Substrate Size Max. φ5″(φ125mm)
                      適用掩模版尺寸 Max. 6″(150mm×150mm) Mask Size Max. 6″(150mm×150mm)
                      基片與掩模版分離間隙 0~0.05mm Separation Gap Between Substrate and Mask 0~0.05mm
                      對準精度 ±1μm Alignment Accuracy ±1μm
                      曝光分辨率 1.5μm(正膠、真空接觸) Exposure Resolution 1.5μm(Positive PR, vacuum contact)
                      關鍵詞:
                      曝光
                      采用
                      分離
                      主要
                      尺寸
                      設備
                      光強
                      物鏡
                      分辨率
                      未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
                      三河建華高科

                      辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769

                      手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522

                      公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號

                      網址 : www.transberita.com

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