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BG-406系列曝光機
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產品編號
數量
-
+
庫存:
0
所屬分類
曝光設備
1
產品描述
參數
BG-406系列曝光機主要用于中小規模集成電路、二極管、三極管、GPP器件、LED、電力電子器件、MEMS和其它半導體器件制造工藝中的對準和曝光。該系列曝光機包括4″、6″單/雙面曝光機，可實現單/雙面對準、單面曝光。
The series of BG-406 Mask Aligners could be used in aligning and exposure process of small or middle scale IC, Diode, dynatron, GPP, LED, Power Electronic devices, etc. The series of Mask Aligners include 4″，6″single/double sides aligning and single side exposure.
主要技術指標 Main Specifications
| 性能名稱 | 技術指標 | Performance name | Technical index | ||
| 適用基片尺寸 | Max 6″（φ150 mm） | Substrate Size | Max 6″（φ150 mm） | ||
| 適用掩模版尺寸 | Max 7″（175×175 mm） | Mask Size | Max 7″（175×175 mm） | ||
| 對準精度 | 頂部顯微鏡 | ±0.5μm | Alignment Accuracy | Top Microscope | ±0.5μm |
| 低部顯微鏡 | ±4μm | Bottom Microscope | ±4μm | ||
| 曝光分辨率 | 1.5μm（膠厚≤1μm正膠、真空接觸） | Exposure Resolution | 1.5μm（Glue thickness ≤ 1μm positive glue, vacuum contact） | ||
關鍵詞:
曝光
顯微鏡
掃描
范圍
系統
物鏡
對準精度
采用
工作臺
上一個
BG-501曝光機
下一個
BG-408雙工位曝光機
辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769
手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522
公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號
網址 : www.transberita.com
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