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                      SB-402雙面曝光機

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                      SB-402雙面曝光機

                      該設備主要用于半導體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機械系統(MEMS)等領域的雙面對準和曝光。主要技術特點對準工作臺高精度薄型精密雙層三維對準工作臺,采用交叉滾柱V形導軌副和θ向超薄軸承及中心滑塊結構,保證了工作臺的直線性和旋轉精度。機械手機構機械手采用直線導軌和滾珠絲杠結構,具有高的定位精度和重復精度。上版架系統上掩模版的升降導軌選用THK可調分離型直線導軌,驅動采用高分辨率的數顯微分頭,從而保證兩掩模版的重復精度和定位精度。對準觀察系統雙光路結構的臥式分離視場顯微鏡,可以獲取高清晰的圖像同時兼容CCD成像顯示。曝光系統上、下兩套獨立的紫外光曝光系統,采用先進的結構方案,具有較高的光強、均勻性、光學分辨率。主要技術指標?性能名稱技術指標適用基片尺寸Max.φ4″(φ100mm)適用掩模版尺寸Max.5″(125mm×125mm)上下掩模版對準行程X向±4mmY向±4mmθ向±7.5°上下掩模版對準精度±3um掩模版對基片對準行程X向±4mmY向±4mmθ向±5°掩模對基片對準精度±3μm(以單一面兩標記形位檢測)顯微鏡物鏡放大率6.5×目鏡放大率10×總放大倍數65×物鏡分離距離26~70mm曝光光源365nm,250W進口汞燈曝光面積φ110mm曝光分辨率3μm(正膠)5μm(負膠)曝光不均勻性±3%曝光時間0~999s曝光光強≥15mW/cm2
                      零售價
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                      市場價
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                      產品編號
                      數量
                      -
                      +
                      庫存:
                      0
                      所屬分類
                      曝光設備
                      1
                      產品描述
                      參數

                      該設備主要用于半導體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機械系統(MEMS)等領域的雙面對準和曝光。

                      The machine is mainly designed by double aligning and exposure process of photoelectric device, power device, sensors, hybrid circuits,micro wave device and MEMS etc.

                      主要技術指標    Main Specifications

                       

                      性能名稱 技術指標 Performance name Technical index
                      適用基片尺寸 Max. φ4″(φ100mm) Substrate Size Max. φ4″(φ100mm)
                      適用掩模版尺寸 Max. 5″(125mm×125mm) Mask Size Max. 5″(125mm×125mm)
                      上下掩模版對準精度 ±3μm Mask Alignment Accuracy ±3μm
                      掩模對基片對準精度 ±3μm(以單一面兩標記形位檢測) Mask to Substrate Alignment Accuracy ±3μm(Single-face two-mark detection)
                      曝光分辨率 3μm(正膠)5μm(負膠) Exposure Resolution 3μm(Positive PR)5μm(Negative PR)
                      關鍵詞:
                      曝光
                      模版
                      對準
                      精度
                      結構
                      系統
                      采用
                      4mm
                      分離
                      未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
                      三河建華高科

                      辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769

                      手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522

                      公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號

                      網址 : www.transberita.com

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