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                      BG-401A曝光機

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                      BG-401A曝光機

                      主要用于中小規模集成電路和半導體元器件制造工藝中的對準及曝光。本產品操作方便、穩定性高、重復性好,并具有較高的性能價格比,可廣泛應用于科研和生產。
                      零售價
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                      市場價
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                      產品編號
                      數量
                      -
                      +
                      庫存:
                      0
                      所屬分類
                      曝光設備
                      1
                      產品描述
                      參數

                      主要用于中小規模集成電路和半導體元器件制造工藝中的對準及曝光。本產品操作方便、穩定性高、重復性好,并具有較高的性能價格比,可廣泛應用于科研和生產。

                      The machine is mainly used for alignment and exposure in process of small and middle scale IC. It is easy to operate, high stability, good repeatability, can be widely used in scientific research and production.

                      主要技術指標  Main Specifications  

                       

                       

                      性能名稱 技術指標 Performance name Technical index
                      適用基片尺寸

                      Max. φ4″(φ100mm)

                      Substrate Size

                      Max. φ4″(φ100mm)

                      適用掩模版尺寸 Max. 5″(125mm×125mm) Mask Size Max. 5″(125mm×125mm)
                      基片與掩模版分離間隙 0~0.05mm Separation Gap Between Substrate and Mask 0~0.05mm
                      對準精度 ±1μm Alignment Accuracy ±1μm
                      曝光分辨率 1.5μm(真空接觸) Exposure Resolution 1.5μm(Vacuum contact)

                       

                      關鍵詞:
                      曝光
                      視場
                      采用
                      分離
                      主要
                      對準
                      尺寸
                      設備
                      光強
                      未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
                      上一個
                      三河建華高科

                      辦公室電話 : 010-61597089 / 010-61594769

                      手機 : 18618388462 / 13472363286 / 18601921522

                      公司地址 : 河北省三河市燕郊開發區海油大街253號

                      網址 : www.transberita.com

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